聯(lián)系電話:

首頁(yè)

產(chǎn)品

通用電子測(cè)試

網(wǎng)絡(luò)分析測(cè)試儀

射頻測(cè)試設(shè)備

光學(xué)和色彩測(cè)試

半導(dǎo)體設(shè)備

自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)

材料與結(jié)構(gòu)分析

EMC測(cè)試設(shè)備

環(huán)境儀表/設(shè)備

光伏測(cè)試

實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)及配套

其他

解決方案

行業(yè)解決方案

通用解決方案

系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)

汽車

能源

資訊

關(guān)于我們

公司信息

人力資源

支持服務(wù)

電子開(kāi)放實(shí)驗(yàn)室

申請(qǐng)演示

培訓(xùn)服務(wù)

儀器維修服務(wù)

聯(lián)系我們

湖南省長(zhǎng)沙市車站北路湘域智慧南塔6樓

安徽省合肥市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)科學(xué)大道110號(hào)新材料園F9A號(hào)樓511室

0731-84284278

service@hncsw.net

0731-84284278

搜索

首頁(yè) > 產(chǎn)品展示 > 其他 > 其他儀器與工具 >

捷歐路JEOL JBX-3200MV 電子束光刻系統(tǒng)

名稱：其他儀器與工具

品牌：

型號(hào)：

簡(jiǎn)介：捷歐路JEOL JBX-3200MV 電子束光刻系統(tǒng)是用于制作28nm～22/20nm節(jié)點(diǎn)的掩模版/中間掩模版（mask/reticle）的可變矩形電子束光刻系統(tǒng)。最先進(jìn)的技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速、高精度和高可靠性。是基于加速電壓50 kV的可變矩形...

國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)
科技創(chuàng)新小巨人
ISO9001認(rèn)證

申請(qǐng)服務(wù)

獲取報(bào)價(jià) 申請(qǐng)演示保修/維修/計(jì)量校準(zhǔn)等服務(wù)

產(chǎn)品介紹

捷歐路JEOL JBX-3200MV 電子束光刻系統(tǒng)是用于制作28nm～22/20nm節(jié)點(diǎn)的掩模版/中間掩模版（mask/reticle）的可變矩形電子束光刻系統(tǒng)。最先進(jìn)的技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速、高精度和高可靠性。是基于加速電壓50 kV的可變矩形電子束和步進(jìn)重復(fù)式的光刻系統(tǒng)。利用步進(jìn)重復(fù)式曝光的優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合曝光劑量調(diào)整功能及重疊曝光等功能，能支持下一代掩模版/中間掩模版（mask/reticle）圖形制作所需要的多種補(bǔ)償。